專注微小流量測量微氣體質量流量計

微氣體質量流量計的概述：

采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

微氣體質量流量計的技術參數：

2.1  測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2  流量范圍：DN3   30-300ml/min
              DN6   60-600ml/min
              DN8   80-800ml/min
              DN10  100-1000ml/min            
注：
  a)以上流量的測量介質為空氣而言；
  b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。
  c) 每個口徑量程范圍均可擴大
  d)特殊需要可單獨標定
2.3   流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍：0-55℃；
2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6   供電電源：24VDC±10%；
2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8   環境溫度：0-55℃；
2.9   顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。

微氣體質量流量計的型號命名

專注微小流量測量微氣體質量流量計的機械尺寸